离子束抛光机?FiSy IFS2000S
产品介绍
?FiSy IFS2000S是专用于Φ2米量级光学元件的离子束抛光系统 ，最大可满口径加工Φ2米、厚度500mm的光学元件 ，工件选取立式装夹方式 ，工件装夹系统可承载的工件沉量≥2500kg（含镜框） ，设备可加工资料蕴含光学资料（微晶玻璃、ULE、融石英、K9）、单晶资料（Si、锗、单晶SiC）、红表资料等 ，可加工的光学表表蕴含平面、球面、非球面、自由曲面等 ，可加工镜面表形蕴含圆形、椭圆、长方形等 ，最终面形加工精杜着于1/10波长PV ，1/100波长RMS（波长取632.8nm） ，表表粗糙杜着于1nmRMS 。
关键词：
所属分类：
离子束抛光机
征询热线：
18974994399
离子束抛光机?FiSy IFS2000S
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名称 |
参数 |
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加工能力 (最大工件尺寸) |
最大尺寸2000mm×2000mm 最大厚度500mm |
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可加工面形 |
光学表表：平面、球面、非球面、自由曲面； 镜面表形：圆形、椭圆、长方形等 |
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可加工资料 |
光学资料（微晶玻璃、ULE、融石英、K9）、单晶资料（Si、锗、单晶SiC）、红表资料等 |
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可加工精度 |
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X轴行程 |
≥2100mm |
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Y轴行程 |
≥2100mm |
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Z轴行程 |
≥300mm |
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离子源 |
德国射坡冯子源 |
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中和器 |
德国 |
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工作真空成立功夫 |
≤1幼时 |
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副室真空成立功夫 |
/ |
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；ぶ澳 |
具备意表断电、断水、断气等故障报警；ぁ⒒疃低彻收媳；ぁ⒗胱釉垂收媳；さ |
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智能职能 |
具备智能一键开机、一键；词笨词蓖；⒃ぴ技庸ぁ⒓庸け；ぁ⒃冻绦⑷罩镜雀呒吨澳 |
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表形尺寸 |
6.5m×4.0m×3.5m |
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整机沉量 |
20吨 |
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能耗功率 |
总功率35kW |
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离子束抛光机?FiSy IFS1500I
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